[冶金] GBT 41652-2022 刻蚀机用硅电极及硅环

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2024-9-22 21:40 | 查看全部阅读模式

刻蚀机用硅电极及硅环
Siliconelectrodeandsiliconringforplasmaetchingmachine

摘要:本文件规定了刻蚀机用硅电极及硅环的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件以及订货单内容。本文件适用于p直拉硅单晶加工成的刻蚀机用直径200mm～450mm的硅电极及硅环。

标准编号：GB/T41652-2022
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2022年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2023年1月1日
关键词：

GB/T 41652-2022 刻蚀机用硅电极及硅环.pdf

2024-9-22 21:40 上传

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刻蚀, 电极

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