[冶金] GBT 43612-2023 碳化硅晶体材料缺陷图谱

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碳化硅晶体材料缺陷图谱
Collectionofmetallographsondefectsinsiliconcarbidecrystalmaterials

摘要:本文件规定了导电型4H碳化硅(4HSiC)晶体材料缺陷的形貌特征，产生原因和缺陷图谱。本文件适用于半导体行业碳化硅（晶锭、衬底片、外延片及后续工艺)的研发、生产及检测分析等环节。

标准编号：GB/T43612-2023
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2023年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2024年1月1日
关键词：

GB/T 43612-2023 碳化硅晶体材料缺陷图谱.pdf

2024-9-22 21:37 上传

GBT 43612-2023 碳化硅晶体材料缺陷图谱.pdf

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碳化硅, 图谱, 晶体, 缺陷, 材料

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