[建材] GBT 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆

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光刻用石英玻璃晶圆
Quartzglasswaferforlithography

摘要:本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆(以下简称石英玻璃晶圆)的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS)、光电器件和发光二极管(LED)等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。

标准编号：GB/T34177-2017
标准类型：GB
发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2017年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2018年1月1日
关键词：

GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆.pdf

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光刻, 石英玻璃

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