文档名：电子束光刻胶成膜树脂研究进展
电子束光刻作为下一代光刻技术,以其分辨率高和性能稳定被认为是在22nm节点最具有发展前景的光刻技术之一.本文归纳了电子束光刻胶用成膜树脂,主要分为聚甲基丙烯酸甲酯及其衍生物、树枝状聚合物、分子玻璃、有机硅及碳材料以及其他用于电子束光刻的成膜树脂类型,综述了其研究进展,最后对电子束光刻胶未来的发展前景和方向进行了展望.
作者：李虎 刘敬成 徐文佳 穆启道 郑祥飞 纪昌玮 刘晓亚
作者单位：江南大学化学与材料工程学院,无锡214122苏州瑞红电子化学品有限公司,苏州215124
母体文献：2015全国非银盐成像材料及光刻胶发展论坛论文集
会议名称：2015全国非银盐成像材料及光刻胶发展论坛
会议时间：2015年11月19日
会议地点：苏州
主办单位：中国感光学会
语种：chi
分类号：TH7TQ6
关键词：成膜树脂 电子束光刻胶 化学成分
在线出版日期：2017年12月4日
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