文档名：主轴回转误差分析仪校准方法
针对超精密机床主轴回转误差分析仪校准难的问题,分析了主轴回转误差分析仪的系统组成及测量原理,提出了一种基于示值误差、线性度、重复性等主要计量特性的校准方法;搭建了一种专用的校准装置,该装置采用纳米微动台进行位移驱动,采用高精度激光干涉仪作为计量标准,测量线符合阿贝原则,能够在普通实验环境条件下实现:位移范围±1mm内最佳测量能力优于10nm,10min内示值稳定性优于2nm;进行了主轴回转误差分析仪校准试验,给出了不确定度评定方法.该校准方法及装置能够满足主轴回转误差分析仪以及各种纳米级位移传感器及仪器的溯源需要.
作者：袁兴起 束红林 崔建军 闫勇刚 毛斌 陈恺 邵宏伟
作者单位：河南理工大学机械与动力工程学院,河南焦作454000河南理工大学机械与动力工程学院,河南焦作454000;中国计量科学研究院,北京100029中国计量科学研究院,北京100029陕西省计量科学研究院,陕西西安710065
母体文献：2018全国几何量精密测量技术学术交流会论文集
会议名称：2018全国几何量精密测量技术学术交流会
会议时间：2018年10月24日
会议地点：杭州
主办单位：中国计量测试学会
语种：chi
分类号：
关键词：超精密机床 主轴结构 回转误差分析仪 参数校准
在线出版日期：2022年2月28日
基金项目：
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