文档名：元器件ESD失效分析中的关键技术及其应用
要准确分析判断器件是否由于ESD造成的损伤或失效,在实际工程案例中通常存在几个难点:被发现的滞后性,电特性上与EOS难以区分,芯片内部的失效点难以定位,失效点的物理形貌难以判断,难以查找是哪个环节产生的静电放电损伤了器件,如何进行技术验证.本文将探讨,以上每个分析环节应该使用何种技术,以及在实验中应该做到什么,才能在逻辑上更为严密的确定器件的损伤或失效是由于ESD引起.
作者：王有亮梁晓思来萍
作者单位：工业和信息化部电子第五研究所
母体文献：ESD-S第五届静电防护与标准化国际研讨会论文集
会议名称：ESD-S第五届静电防护与标准化国际研讨会
会议时间：2016年11月16日
会议地点：西安
主办单位：中国标准化研究院,中国空间技术研究院
语种：chi
分类号：TN4R1
关键词：电子元器件 失效分析 静电放电
在线出版日期：2020年5月31日
基金项目：
相似文献
相关博文
- 文件大小:
- 1.19 MB
- 下载次数:
- 60
-
高速下载
|
|
