文档名：一种分子泵除气系统断电保护及高真空保持技术
分子泵除气系统出现异常断电的情况下,系统内部出气无法排出,同时外部大气进入真空系统,可能损坏分子泵、破坏系统真空状态,对以分子泵为主除气泵的真空物理实验造成不可预估的损失.为了消除实验过程中可能出现的这种隐患,通过在除气系统中设置合适的容气腔和高灵敏度、密封可靠的电磁阀,形成一种分子泵除气系统保护结构.应用该结构的分子泵除气系统实验结果表明:真空机组断电时间超过20min,分子泵仍可维持怠速除气状态,真空腔保持真空度在1×101Pa以上,不影响物理实验真空性能.分子泵除气系统异常断电后较长时间的系统保护和高真空保持,可为采取补救措施,避免重大损失提供宝贵机会.
作者：蔡易平文霞王栋胡孟春
作者单位：中国工程物理研究院核物理与化学研究所,四川绵阳621900
母体文献：电子陶瓷、陶瓷—金属封接第十九届会议暨真空电子与专用金属材料分会2019年年会论文集
会议名称：电子陶瓷、陶瓷—金属封接第十九届会议暨真空电子与专用金属材料分会2019年年会
会议时间：2019年9月18日
会议地点：湖南娄底
主办单位：中国真空电子材料行业协会
语种：chi
分类号：
关键词：分子泵 除气系统 断电保护 高真空保持
在线出版日期：2020年7月9日
基金项目：
相似文献
相关博文
- 文件大小:
- 472.71 KB
- 下载次数:
- 60
-
高速下载
|
|
