文档名：我国集成电路设备产业发展的重要性,瓶颈和策略
本文讲述了从电子管计算机到智能手机-工欲善其事,分析了国际最先进的台积电芯片制造的全自动智能化的生产线，半导体关键设备的开发涉及到50多种科学技术及工程领域，等离子体刻蚀的应用五花八门，是最复杂的微观加工工艺，提出了加大在半导体设备和材料领域的投资;要达到整个集成电路产业链投资的20％(目前的投资不到3%)。除股本金投资外，要继续国家重大项目的资助.要鼓励和推动产业链国产化，特别是制定设备和材料的国产化率指标。到2020年应达到15%，到2025年应达到33%，到2030年应达到50%等方面.
作者：尹志尧
作者单位：中微半导体设备(上海)有限公司
母体文献：2017中国集成电路产业发展研讨会暨第二十届中国集成电路制造年会论文集
会议名称：2017中国集成电路产业发展研讨会暨第二十届中国集成电路制造年会
会议时间：2017年9月26日
会议地点：南京
主办单位：中国半导体行业协会
语种：chi
分类号：
关键词：集成电路设备产业 投资管理 激励机制 商业模式
在线出版日期：2019年11月29日
基金项目：
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