文档名：石英玻璃表面精密加工研究进展
石英玻璃是紫外光刻、激光核技术等精密光学系统的关键光学元件,其表面加工质量直接影响系统的长期稳定运行.文章介绍了化学机械抛光工艺,以及磁流变抛光加工、等离子加工、离子束加工、弹性发射加工等现代超精密加工技术的工作原理,在石英玻璃高表面质量方面的应用情况及未来发展趋势,并阐述了相关加工技术的优缺点,为高精密石英玻璃表面加工选取适应性加工工艺提供理论和技术支撑.
作者：张辰阳王玉芬向在奎聂兰舰王蕾贾亚男邵竹峰王慧
作者单位：中国建筑材料科学研究总院,石英与特种玻璃研究院,北京100024
母体文献：2017年全国玻璃科学技术年会论文集
会议名称：2017年全国玻璃科学技术年会
会议时间：2017年8月27日
会议地点：秦皇岛
主办单位：中国硅酸盐学会
语种：chi
分类号：TQ1TN2
关键词：石英玻璃 表面精密加工 质量控制
在线出版日期：2021年3月22日
基金项目：
相似文献
相关博文
- 文件大小:
- 6.9 MB
- 下载次数:
- 60
-
高速下载
|
|
