压电直线电机驱动的精密工件台研制及应用 - 第五届全国振动利用工程学术会议暨第四次全国超声电机技术研讨会.pdf

本文介绍了压电直线电机驱动的精密工件台的研制与应用，旨在提高加工精度和效率。通过分析压电直线电机的工作原理及其在工件台中的设计，展示了其在精密制造领域的优势。研究结果表明，该工件台具有高定位精度和良好的动态响应性能，适用于微细加工和精密装配等应用场景。

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2025-12-14 22:06 上传 压电直线电机驱动的精密工件台研制及应用 - 第五届全国振动利用工程学术会议暨第四次全国超声电机技术研讨会.pdf

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