GBT 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯

电子工业用气体高纯氯
Gasesforelectronicindustry--Highpuritychlorine

摘要:本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验规则1,11t乏包装、标志、运输及贮存和安全要求。本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。分子式：Cl2。相对分子质量：70．906(按1999年国际相对原子质量)。101．3kPa下的沸点：一34．O5℃。101．3kPa下的熔点：一l01．0。C。101．3kPa及20℃下气体的密度：2．980k9／m3。

标准编号：GB/T18994-2003
标准类型：CP
发布单位：CN-GB
发布日期：2003年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2003年1月1日
关键词：氯,电子设备及元件,气体,电子工程,gases,electronicequipmentandcomponents,gas,electronicengineering,chlorine

GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯.pdf

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