GBT 24469-2009 电子工业用气体.5N氯化氢

电子工业用气体.5N氯化氢
Gasforelectronicindustry.5Nhydrogenchloride

摘要:本标准规定了电子工业用气体5N氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、储存、充装、分装和安全要求。本标准适用于以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液化氯化氢。氯化氢主要用于微电子工业半导体器件生产中单晶硅片气相抛光、外延和基座腐蚀工艺。也可用于硬质合金和玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式:HCl相对分子质量:36.46l(按2005年国际相对原子质量)

标准编号：GB/T24469-2009
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2009年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2009年1月1日
关键词：电子设备及元件,气体,氯化氢,ELECTRONICEQUIPMENTANDCOMPONENTS,GASES,GAS,HYDROGENCHLORIDE

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