带有弯曲表面的电极微间隙下气体击穿的偏离特性的物理机制

文档名：带有弯曲表面的电极微间隙下气体击穿的偏离特性的物理机制
微间隙下带有弯曲表面电极的气体击穿特性将偏离传统帕邢曲线,此特性一般分为三个阶段:一个上升左支,一个平台区域和一个上升右支.本文使用了粒子-蒙特卡洛碰撞(PIC-MCC)模拟方法,研究了针-板电极微间隙下击穿电压的偏离特性的产生原因.文中模拟了击穿电压Vbr随电极间距d以及气压p的变化,并通过离子密度分布研究了其内在的物理机制.研究结果表明,在微米级间隙下,Vbr不再是pd乘积的函数而分别是d和p的函数.偏离的平台特性在Vbr随d和p的变化曲线中都被观测到,此现象是由于一种放电位置的自调制机制所导致的且由此机制确立了在变化的d和p下的平台出现条件.此外,离子增强场致发射机制的影响也通过理论计算加以考量,此机制仅在间隙距离低于一个临界值是才有效.因此,两种机制分别在较大间隙下导致了偏离的平台区与较小间隙下导致了偏离的左支.
作者：张桐恺 何锋 李犇 张宇 王荣刚 欧阳吉庭
作者单位：北京理工大学,物理学院,静电实验室北京理工大学,物理学院,静电实验室;北京理工大学,国家机电工程与控制重点实验室北京东方计量研究所
母体文献：ESD-S第七届静电防护与标准化国际研讨会论文集
会议名称：ESD-S第七届静电防护与标准化国际研讨会  
会议时间：2018年11月7日
会议地点：北京
主办单位：中国标准化研究院,中国空间技术研究院
语种：chi
分类号：O4O53
关键词：弯曲表面电极  气体击穿  偏离特性  物理机制
在线出版日期：2021年12月15日
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2024-12-9 21:06 上传 带有弯曲表面的电极微间隙下气体击穿的偏离特性的物理机制.pdf

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