GBZ 42624-2023 真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序

真空技术真空计放气率的测试和报告程序
Vacuumtechnology—Vacuumgauges—Procedurestomeasureandreportoutgassingrates

摘要:本文件规定了真空室整体及其组件的放气率测试程序。本文件适用的放气率由应用于高真空或超高真空的设备产生，在23℃时小于1X10-5Pa•m•s-1（1X10-2Pa•L•s-1），放气产生的各种气体或蒸气的分子量均小于300u。总放气率的上限1×10-5Pa•m3•s-1与放气材料的尺寸、总表面积、材质或者状态无关。如果标称放气率（单位面积放气率）已测定，则该面积采用名义几何表面积，而非包括表面粗糙度的比表面积当难以测定样品（如粉末、多孔材料、非常粗糙的表面或者复杂的设备等）的名义几何表面积时，采用单位质量放气率（如每克放气率）。

标准编号：GB/Z42624-2023
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2023年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2023年1月1日
关键词：

GB/Z 42624-2023 真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序.pdf

2024-9-24 18:21 上传 GBZ 42624-2023 真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序.pdf

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