会议论文《超声喷雾热解法制备ZnO、ZnO∶Al薄膜的研究》介绍了采用超声喷雾热解法在基底上制备氧化锌及其掺铝薄膜的技术。该方法具有工艺简单、成本低和薄膜均匀性好的特点。研究通过优化工艺参数,获得了性能优良的ZnO和ZnO∶Al薄膜,为太阳能光伏器件提供了重要的材料基础。
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