会议论文《纳米光栅栅距的精确测量与nano4国际比对》介绍了纳米光栅栅距的高精度测量方法，并详细描述了nano4国际比对的实施过程与结果。该研究对于提升纳米尺度测量的准确性具有重要意义，为相关领域的标准化和国际化提供了数据支持和技术参考。
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