会议论文《紫外光刻法制备图案化的硫化铜薄膜及其光学性能的研究》介绍了采用紫外光刻技术制备硫化铜薄膜的工艺方法,并分析了其光学性能。该研究为硫化铜在光电子器件中的应用提供了实验依据,具有重要的理论和实际意义。
文档为pdf格式,0.92MB,总共4页。
举报