紫外光刻法制备图案化的硫化铜薄膜及其光学性能的研究 - 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛.pdf

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2026-1-12 17:24 | 查看全部 阅读模式

会议论文《紫外光刻法制备图案化的硫化铜薄膜及其光学性能的研究》介绍了采用紫外光刻技术制备硫化铜薄膜的工艺方法,并分析了其光学性能。该研究为硫化铜在光电子器件中的应用提供了实验依据,具有重要的理论和实际意义。

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紫外光刻法制备图案化的硫化铜薄膜及其光学性能的研究 - 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
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