离子注入剂量的光载流子辐射测量技术研究 - 2008年远东无损检测新技术论坛.pdf

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2026-1-12 17:09 | 查看全部 阅读模式

会议论文《离子注入剂量的光载流子辐射测量技术研究》发表于2008年远东无损检测新技术论坛。该文探讨了利用光载流子辐射技术对离子注入剂量进行非破坏性检测的方法,分析了其原理与应用前景,为半导体制造中的质量控制提供了新的技术思路。

文档为pdf格式,0.7MB,总共4页。

离子注入剂量的光载流子辐射测量技术研究 - 2008年远东无损检测新技术论坛
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