碘过饱和KOH溶液腐蚀硅尖技术研究 - 第七届中国国际纳米科技(武汉)研讨会.pdf

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2026-1-12 17:03 | 查看全部 阅读模式

会议论文《碘过饱和KOH溶液腐蚀硅尖技术研究》发表于第七届中国国际纳米科技(武汉)研讨会,探讨了利用碘过饱和氢氧化钾(KOH)溶液对硅材料进行微加工的技术。该方法通过优化溶液浓度和反应条件,提高了硅尖的加工精度与效率,为纳米尺度器件制造提供了新思路。

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碘过饱和KOH溶液腐蚀硅尖技术研究 - 第七届中国国际纳米科技(武汉)研讨会
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