激光干涉仪在测量过程中所产生的误差及消除办法 - 第四届十三省区市机械工程学会科技论坛暨2008海南机械科技论坛.pdf

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2026-1-12 16:04 | 查看全部 阅读模式

会议论文《激光干涉仪在测量过程中所产生的误差及消除办法》探讨了激光干涉仪在实际应用中常见的误差来源,如环境振动、温度变化和光路偏差等,并提出了相应的消除措施。文章通过分析误差产生的机理,提出改进光路稳定性、优化环境控制以及采用数据补偿算法等方法,以提高测量精度。该研究对提升激光干涉仪的测量可靠性具有重要参考价值。

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激光干涉仪在测量过程中所产生的误差及消除办法 - 第四届十三省区市机械工程学会科技论坛暨2008海南机械科技论坛
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