氢退火对氧化锌薄膜晶体管性能的影响 - 2008中国平板显示学术会议.pdf

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2026-1-12 15:08 | 查看全部 阅读模式

2008年中国平板显示学术会议上发表的会议论文《氢退火对氧化锌薄膜晶体管性能的影响》,研究了氢气退火处理对氧化锌薄膜晶体管电学性能的影响。实验结果表明,氢退火可以有效改善薄膜的晶体结构,降低缺陷密度,从而提升器件的迁移率和稳定性。该研究为氧化锌薄膜晶体管的优化提供了重要参考。

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氢退火对氧化锌薄膜晶体管性能的影响 - 2008中国平板显示学术会议
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