放电等离子烧结法制备ITO靶材 - 第十五届全国高技术陶瓷学术年会.pdf

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2026-1-12 14:14 | 查看全部 阅读模式

会议论文《放电等离子烧结法制备ITO靶材》发表于第十五届全国高技术陶瓷学术年会,探讨了采用放电等离子烧结技术制备氧化铟锡(ITO)靶材的工艺与性能。该方法具有烧结温度低、致密度高和晶粒细小等优势,为高性能ITO靶材的制备提供了新途径,对推动透明导电材料的发展具有重要意义。

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放电等离子烧结法制备ITO靶材 - 第十五届全国高技术陶瓷学术年会
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