会议论文《抗干扰型SPM-LD实时面形干涉测量仪》介绍了基于SPM-LD技术的新型面形干涉测量系统。该系统具有较强的抗干扰能力，能够实现对复杂表面的高精度实时测量。文章详细阐述了其工作原理、系统结构及实际应用效果，为提高测量精度和稳定性提供了有效解决方案。
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