会议论文《微波离子源放电室材料对离子比的影响》探讨了不同材料作为微波离子源放电室时,对产生的离子比的影响。研究通过实验分析,比较了多种材料在相同条件下对离子成分分布的作用,为优化离子源设计提供了理论依据和技术支持。
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