大长-径比扫描探针在微结构形貌测量中的应用研究 - 第六届中日超精密加工技术双边国际学术交流会.pdf

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2026-1-12 12:55 | 查看全部 阅读模式

会议论文《大长-径比扫描探针在微结构形貌测量中的应用研究》发表于第六届中日超精密加工技术双边国际学术交流会。该文探讨了大长-径比扫描探针在微小结构表面形貌测量中的应用,分析了其在精度和适用性方面的优势,为微纳制造领域提供了新的测量方法和技术支持。

文档为pdf格式,0.9MB,总共6页。

大长-径比扫描探针在微结构形貌测量中的应用研究 - 第六届中日超精密加工技术双边国际学术交流会
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