先进的MEMS封装技术及应用 - 湖北省机械工程学会第十六届机械设计与传动学术年会.pdf

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2026-1-12 09:40 | 查看全部 阅读模式

会议论文《先进的MEMS封装技术及应用》在湖北省机械工程学会第十六届机械设计与传动学术年会上发表。该文探讨了微机电系统(MEMS)在封装领域的最新技术进展,分析了其在传感器、执行器等微型器件中的应用前景。文章强调了封装技术对提升MEMS性能和可靠性的重要性,并提出了多项创新解决方案,为相关领域的研究与产业化提供了理论支持和技术参考。

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先进的MEMS封装技术及应用 - 湖北省机械工程学会第十六届机械设计与传动学术年会
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