会议论文《SiO2_SiNz叠层钝化晶体硅太阳能电池的研究》探讨了采用SiO2和SiNz叠层结构对晶体硅太阳能电池进行钝化的技术。该研究旨在通过优化钝化层结构，提高电池的表面钝化效果，从而提升其光电转换效率。文章分析了不同沉积参数对钝化效果的影响，并通过实验验证了该方法在改善电池性能方面的有效性，为高效晶体硅太阳能电池的开发提供了理论支持和技术参考。
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