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P型单晶硅片在KOH溶液中腐蚀行为的电化学研究 - 第七届中国国际纳米科技(武汉)研讨会.pdf

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2026-1-12 07:59 | 查看全部阅读模式

会议论文《P型单晶硅片在KOH溶液中腐蚀行为的电化学研究》发表于第七届中国国际纳米科技(武汉)研讨会。该研究通过电化学方法，探讨了P型单晶硅在KOH溶液中的腐蚀机制与动力学特性，为硅材料在微电子和微机械系统中的应用提供了理论依据和技术支持。

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P型单晶硅片在KOH溶液中腐蚀行为的电化学研究 - 第七届中国国际纳米科技(武汉)研讨会.pdf

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硅片, 电化学, 武汉, 溶液, 中国国际

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