会议论文《非接触式表面电势测量的MEMS微型静电压仪》发表于第11届全国敏感元件与传感器学术会议。该文提出一种基于MEMS技术的微型静电压仪，用于非接触式表面电势测量。通过微机电系统设计，实现高灵敏度与小型化，适用于精密电子器件和半导体表面电势检测，具有广泛的应用前景。
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