闪锌矿BxAl1-xAs合金的LP-MOCVD生长研究 - 全国第14次光纤通信暨第15届集成光学学术会议.pdf

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2026-1-11 22:28 | 查看全部 阅读模式

会议论文《闪锌矿BxAl1-xAs合金的LP-MOCVD生长研究》介绍了通过低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)技术制备闪锌矿结构BxAl1-xAs合金的实验过程与结果。研究重点分析了生长参数对材料结晶质量和成分分布的影响,为高性能光电子器件提供了重要的材料基础。

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闪锌矿BxAl1-xAs合金的LP-MOCVD生长研究 - 全国第14次光纤通信暨第15届集成光学学术会议
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