粗硅精炼制多晶硅 - 中国工程院化工、冶金与材料工学部第七届学术会议.pdf

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2026-1-11 21:08 | 查看全部 阅读模式

会议论文《粗硅精炼制多晶硅》发表于中国工程院化工、冶金与材料工学部第七届学术会议,探讨了粗硅精炼在多晶硅生产中的关键技术与工艺流程。文章分析了现有技术的局限性,并提出了优化精炼方法以提高纯度和效率的思路,对推动我国半导体材料产业发展具有重要参考价值。

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粗硅精炼制多晶硅 - 中国工程院化工、冶金与材料工学部第七届学术会议
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