会议论文《离子束刻蚀制作超宽带雷达声表色散线工艺研究》发表于第十六届全国混合集成电路学术会议。该文探讨了利用离子束刻蚀技术制作超宽带雷达声表面波色散线的工艺方法，旨在提高器件性能与制造精度。研究通过优化刻蚀参数，实现了对声表面波器件结构的精确控制，为高性能雷达系统提供了关键技术支撑。
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