硅谐振式压力传感器静态特性测试 - 2009年全国压力计量测试技术交流年会.pdf

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2026-1-11 20:52 | 查看全部 阅读模式

会议论文《硅谐振式压力传感器静态特性测试》发表于2009年全国压力计量测试技术交流年会。该文详细介绍了硅谐振式压力传感器的静态特性测试方法,包括灵敏度、线性度和迟滞等关键参数的测量与分析。研究旨在评估该类型传感器在不同压力条件下的性能表现,为提高测量精度和可靠性提供理论依据和技术支持。

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硅谐振式压力传感器静态特性测试 - 2009年全国压力计量测试技术交流年会
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