真空箱氦检漏回收系统的设计要素 - 第十五届全国质谱分析与检漏会议暨第十届全国真空计量测试年会.pdf

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2026-1-11 20:47 | 查看全部 阅读模式

会议论文《真空箱氦检漏回收系统的设计要素》探讨了在真空技术中如何有效回收和再利用氦气,以提高检测效率并降低运行成本。文章分析了系统设计中的关键因素,包括密封性、气体回收效率及检测精度等。该研究对于提升氦检漏技术的环保性和经济性具有重要意义,适用于航空航天、半导体制造等领域。

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真空箱氦检漏回收系统的设计要素 - 第十五届全国质谱分析与检漏会议暨第十届全国真空计量测试年会
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