用四极质谱计对超高真空设备进行放气分析研究 - 第十五届全国质谱分析与检漏会议暨第十届全国真空计量测试年会.pdf

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2026-1-11 20:30 | 查看全部阅读模式

会议论文《用四极质谱计对超高真空设备进行放气分析研究》发表于第十五届全国质谱分析与检漏会议暨第十届全国真空计量测试年会。该文探讨了四极质谱计在超高真空设备放气分析中的应用，通过实验方法分析了材料在高真空环境下的气体释放特性，为提高真空系统性能提供了理论依据和技术支持。

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