会议论文《热处理对TiO_2薄膜微观力学性能的影响》探讨了不同热处理工艺对TiO_2薄膜微观结构及力学性能的影响。研究通过实验分析表明，热处理温度和时间显著影响薄膜的硬度、弹性模量及表面形貌。该成果为TiO_2薄膜在功能涂层领域的应用提供了重要理论依据。
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