干法与湿法氧化提纯冶金级硅 - 第28届全国化学与物理电源学术年会.pdf

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2026-1-11 17:08 | 查看全部 阅读模式

会议论文《干法与湿法氧化提纯冶金级硅》发表于第28届全国化学与物理电源学术年会,探讨了两种不同的提纯工艺在冶金级硅精炼中的应用。文章对比分析了干法和湿法氧化技术的优缺点,重点研究了其对硅纯度、能耗及环境影响等方面的效果,为高效、环保的硅提纯工艺提供了理论依据和技术参考。

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干法与湿法氧化提纯冶金级硅 - 第28届全国化学与物理电源学术年会
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