会议论文《干法与湿法氧化提纯冶金级硅》发表于第28届全国化学与物理电源学术年会,探讨了两种不同的提纯工艺在冶金级硅精炼中的应用。文章对比分析了干法和湿法氧化技术的优缺点,重点研究了其对硅纯度、能耗及环境影响等方面的效果,为高效、环保的硅提纯工艺提供了理论依据和技术参考。
文档为pdf格式,0.11MB,总共2页。
举报