会议论文《多加热器热场设计对硅定向凝固过程的影响》探讨了多加热器系统在硅定向凝固中的热场分布及其对晶体生长质量的影响。通过优化加热器布局，研究有效改善了温度梯度和热场均匀性，从而提高了硅单晶的生长质量。该成果为半导体材料制备提供了理论支持和技术参考。
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