会议论文《一种新式掩膜版制作工艺》发表于第十六届全国混合集成电路学术会议，介绍了新型掩膜版的制作方法。该工艺通过优化材料选择与加工流程，提高了掩膜版的精度与稳定性，适用于高密度集成电路的生产。研究结果表明，该方法能够有效降低制造成本，提升产品良率，对推动混合集成电路技术发展具有重要意义。
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