会议论文《IBAD参数对TiB2_Si3N4纳米多层膜结构和性能的影响》探讨了离子束辅助沉积（IBAD）工艺参数对TiB2_Si3N4纳米多层膜微观结构及力学性能的影响。研究通过调整IBAD能量、角度等参数，分析其对薄膜硬度、耐磨性及结构均匀性的作用机制，为高性能纳米多层膜的制备提供了理论依据和技术支持。
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