会议论文《IC工厂分子污染控制 - 第十二届中国国际洁净技术论坛》探讨了集成电路制造过程中分子污染的来源、影响及控制策略。文章强调了分子污染对芯片良率和性能的关键作用，提出了有效的监测与净化措施。通过分析实际案例，作者为IC工厂提供了可行的污染控制方案，对提升洁净室环境质量具有重要参考价值。
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