会议论文《CVD法制备高纯钛形核过程动力学分析》探讨了化学气相沉积(CVD)法制备高纯钛过程中形核的动态机制。通过实验与理论分析,研究者揭示了温度、压力及气体浓度对形核速率的影响,为优化CVD工艺提供了理论依据。该研究对提高钛材料的纯度和性能具有重要意义。
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