会议论文《(Ⅱ)新一代分子增压泵—深冷水气泵组合抽气机组——无扩散泵、无罗茨泵、清洁、节能的大型蒸发镀膜设备》介绍了新型抽气机组的设计与应用。该系统采用分子增压泵与深冷水气泵组合，摒弃传统扩散泵和罗茨泵，实现更清洁、节能的真空环境。适用于大型蒸发镀膜设备，具有高效、环保等优势，为现代真空技术提供了新方向。
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