2010年中国平板显示学术会议上发表的会议论文《高性能ZnO薄膜晶体管的室温射频磁控溅射制备》,介绍了通过室温射频磁控溅射技术制备高性能氧化锌(ZnO)薄膜晶体管的方法。该研究探讨了工艺参数对薄膜性能的影响,实现了高质量ZnO薄膜的制备,为柔性电子和透明电子器件的发展提供了技术支持。
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