会议论文《超纯氨的深度净化》在全国特种气体第十四次年会上发表，探讨了超纯氨在电子工业中的重要应用及净化技术。文章分析了现有净化工艺的局限性，提出了一种高效的深度净化方法，以提高氨气的纯度，满足高端制造需求。该研究对提升我国特种气体技术水平具有重要意义。
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