会议论文《超声喷雾热解法制备SnO2_F薄膜及性能表征》介绍了采用超声喷雾热解法在基底上制备SnO2_F薄膜的过程。该方法具有工艺简单、均匀性好等优点。文章对所制备的薄膜进行了结构和性能的表征，分析了其在光学和电学方面的特性，为SnO2_F薄膜的应用提供了理论依据和技术支持。
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