会议论文《离心粒化理论与设备》发表于第十一届全国MOCVD学术会议，探讨了离心粒化技术在半导体材料制备中的应用。文章详细分析了该技术的理论基础及设备设计原理，对提高材料均匀性和生产效率具有重要意义。论文为MOCVD工艺的发展提供了新的思路和技术支持。
文档为pdf格式，0.33MB，总共4页。
举报
