会议论文《磁控溅射法制备AZO薄膜_玻璃结构及物性研究》探讨了采用磁控溅射技术制备氧化铝掺杂锌（AZO）薄膜的工艺及其性能。文章分析了AZO薄膜在玻璃基底上的结构特性，并研究了其电学和光学性质。该研究对AZO薄膜在透明导电材料领域的应用具有重要意义，为后续相关研究提供了理论依据和技术参考。
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