会议论文《硅烷氨气比对PECVD氮化硅薄膜性能的影响》探讨了在等离子体增强化学气相沉积（PECVD）过程中，硅烷与氨气比例对氮化硅薄膜性能的影响。研究结果表明，适当的硅烷/氨气比可优化薄膜的结构和光学特性，提高其作为减反射层或钝化层的性能，为光伏器件的效率提升提供了理论依据和技术支持。
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