会议论文《电磁加热的MOCVD反应室温度场的仿真与优化》探讨了采用电磁加热方式在MOCVD反应室中的温度分布特性。通过数值仿真方法，研究了不同参数对温度场的影响，并提出了优化方案以提高温度均匀性。该研究对提升MOCVD工艺的稳定性和薄膜质量具有重要意义。
文档为pdf格式，0.64MB，总共5页。
举报
